SF6氣體檢漏儀由氣源按檢測要求提供穩定的檢測氣源，然后通過設備加壓到被測工件上，當工件內部壓力達到檢測壓力后，氣體經過一段時間的穩定后進入檢測階段。當被檢測工件沒有泄露時，檢測壓力基本保持不變，當被測工件存在泄露，工件內的氣體壓力隨著氣體從被測工件中泄露而逐步下降，壓力傳感器實時輸出相應的壓力變化，進而按預先設置的參數，系統自動判斷是否泄露，檢測過程*系統自動化，消除了人為因素的影響。SF6氣體檢漏儀通電后鉑絲溫度上升至工作溫度，空氣以自然擴散方式或其它方式到達元件表面。當空氣中無可燃性氣體時，橋路輸出為零，當空氣中含有可燃性氣體并擴散到檢測元件上時，由于催化作用產生無焰燃燒，使檢測元件溫度升高，鉑絲電阻增大，使橋路失去平衡。

 

    紅外源產生一個包含全部波長的高強度，綜合紅外光譜能量流并穿過濾光器。濾光器將阻擋冷媒吸收光譜之外的所有紅外光譜能量流，已過濾的紅外能量撞擊檢測器，導致它發熱，當冷媒被內置泵拉動通過取樣室時，某些紅外能量被冷媒吸收，這導致達到檢測器的紅外能量減少相應地檢測器的溫度降低。SF6氣體檢漏儀具有被測氣體*波長的光被吸收，從而使透過測量室這一光路而進入紅外線接收氣室的光通量減少。氣體濃度越高，進入到紅外線接收氣室的光通量就越少；而透過參比室的光通量是一定的，進入到紅外線接收氣室的光通量也一定，透過測量室和參比室的光通量差值就越大。